应用领域：
该系统适用于航空航天的元器件进行氦检漏，可按照用户需求设置工位数。
产品描述：
系统工位可共用抽真空机组、氦谱检漏仪及清氦系统，相对于单工位系统来说能有降低成本并使用率。
技术性能：
检漏仪小可检漏率：≤ 5×10-13 pa·m3/s
工作真空度：5×10-3 pa
操作控制：自动和手动
真空系统：清洁无油